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MicroLine 300一款桌上型半自动CD测量系统

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东莞市天测光学设备有限公司
联系人:张人雷 手机号码:15962502798 固定电话: 所在城市:全国 通讯地址: 公司网址:
公司类型: / 主营项目:

价格:¥950000.00 元/台

供货量:100 台 / 1 台起订

发货期限:付款之日起 30 天内发货

所在地:全国厂商性质:生产商

品牌:QVI VIEW有效期至:长期有效

热度:21更新时间:2022-07-20 15:20:40

15962502798 /   联系人:张人雷

联系我时,请说明是在工控家网上看到的,谢谢!

 MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。


主要技术参数:

◆    测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆    视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴ju jiao范围:25 mm
◆    视场内测量范围:0.5um~400um;
◆    视场内测量重复性(100x 物镜):  晶圆上<0.010um(1δ); 
                                                   掩模板上0.005um(1δ);   

◆    最大承重:2kg

◆    标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X

 

 

MicroLineTM 300是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台,可对200mm的晶圆上0.5µm400µm的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。

 

n  200 x200mm精密X-Y平台

n  基于视觉的自动ju jiao获得最佳影像质量

n  自动照明可编程光强

n  用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能

n  完全可编程的序列,包括自动ju jiao和关键尺寸测量

n  电动的6目物镜转换器,软件控制

n  可选的透射照明

技术规格:

测量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

平台运行交叉滚轴手动同轴定位和快速释放

视场内的测量精度: 0.010µm (100x物镜)

特征尺寸视场内0.5µm - 400µm

- FOV测量重复性: <0.010µm on wafers (100x物镜)

<0.005µm on photomasks (100x物镜)

照明石英卤素灯反射光

      自动照明

低噪音CCD VGA格式摄像头

图像处理60帧每秒

MicroLine 300的典型应用包括:

l  晶圆

l  光罩

l  MEMS

l  微型组件

测量类型:

n  关键尺寸:

线宽  Linewidth

节距  Pitch

间隙  Spacing

n  Overlay

            Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error

 

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